應用：
材料表面改性
醫(yī)療器材表面滅菌消毒
表面清洗，如PCB、FPC、電子元件等

產(chǎn)品特性：
本品采用直接微波等離子體（Remote Microwave Plasma），等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；
由微波系統(tǒng)、等離子體發(fā)生室、樣品處理室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)水冷卻系統(tǒng)組成；
樣品處理室ф262（內(nèi)徑）×165（高），容積35.58L。左、右側(cè)及前門上各有一個（共3個）ф50觀察窗，樣品裝卸門146（寬）×68（高），內(nèi)有ф120（直徑）水平樣品臺，樣品臺面離樣品處理室底面高度兩級可調(diào)節(jié)27-57-87。 樣品臺升降架精巧豪華，方便調(diào)諧和樣品取放。                                                    
等離子體發(fā)生室ф144（內(nèi)徑）×96（高）處于樣品處理室之上。
2～4路氣體輸入由反應室內(nèi)頂部（樣品臺上方）呈環(huán)形均流輸入。可用氮氣、氧氣、氦氣和大氣等常用氣體。流量控制可用玻璃轉(zhuǎn)子流量計或者MFC；
可長時間連續(xù)工作，配循環(huán)水冷系統(tǒng)，環(huán)保經(jīng)濟；
常規(guī)采用機械真空泵，可選配擴散泵與渦輪分子泵；