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高性能靶材

靶材是指通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。通過向基靶內添加稀土元素來改良靶材性能的靶材稱之為高性能靶材。
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